近年來,國內(nèi)外真空設(shè)備發(fā)展迅猛,在許多轉(zhuǎn)動密封裝置上,磁流體密封得到了廣泛的應(yīng)用,例如在離子鍍膜、單晶硅爐、真空釬焊爐、真空熔煉爐、化學(xué)氣相沉積、液晶再生、六氟化硫開關(guān)等設(shè)備的密封,以及高溫高壓設(shè)備及對環(huán)境要求較高的設(shè)備的密封。從而提高產(chǎn)品質(zhì)量,獲得很好的經(jīng)濟效益。
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